抽取式氧氣分析儀系統介紹
將欲測量的氣體從①加熱式採樣探頭附2um粉塵過濾後, 藉由②採樣幫浦把抽取到的樣品氣體從製程管線導入到系統，③壓力調整閥將適當之壓力後在④第二段過濾器再一次清除樣品中雜質及分離出氣體內水氣(可加裝Cooler提升凝結水氣)。清潔無固體及水分的樣品氣，再使用⑥第二次穩壓調整閥，固定進入分析儀之樣品氣體及同時得到相同的校正氣體壓力。⑦調整適當的分析儀所需之流量並Bypass⑧過剩氣體，其功能可以增加整個採樣系統的流速，以便增快氧氣分析儀分析時間，取得即時數值。
為保持氧氣分析儀準確的數值，系統內必定包含使用⑤標準氣體鋼瓶定期來配合分析儀內部校正，做量測值偏移修正。