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量測極限:H2 / CO / CO2 / CH4 / NMHC / N2 / Ar = 0.5ppb
在大宗氣體如氫氣H2、氧氣O2、氮氣N2、氦氣He、氬氣Ar中量測低濃度不存物質。
提供對大宗氣體的品質管制及保證。提高光電產業、半導體業、特殊金屬產業製造良率。
EPD元件,不需助燒空氣、燃燒氣體模組是溫控柱箱,維護容易。
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