PLASAMA IMS (增強型離子移動光譜儀) ETG TA 4500 EIMS
ETG TA 4500 EIMS 系列是第一款使用 EIMS 技術的 ETG 產品,非常精確地監控氨(NH3)、氯化氫(HCL)、氟化氫(HF)、酸、氮氧化物、Cl2、丙酮、VOC 等存在環境空氣中的污染物的濃度。
創新的IMS技術
自1887年以來,IMS(離子移動光譜)技術,開始應用於化學分析領域。基於氣體離子的尺寸、形狀和電荷在弱電場的移動性。使用放射性同位素(如鎳-63或鈦(氫-3)對欲分析的氣體作進行激發。這種游離技術具有無可置疑的優勢,無需高壓電源及很長的壽命,但它卻因採取特定的輻射源,在出口和運輸造成的所有困難。現在EIMS(增強離子移動光譜儀)保持所有IMS優勢和特性,同時使用等離子體(Plasma)替換放射源,消除過輻射源帶來的困擾。
ETG 提出的EIMS 核心技術,已集成在可靠且經過全面測試的系統中,該系統現已成為 ETG 解決方案的尖兵。ETG TA 4500 EIMS分析儀系統具靈活運用及高可靠性,使用者可應用於多種用途。
空氣品質分析
由於解析度非常高,ETG TA 4500 EIMS 用來監測環境空氣中微量有害化合物。
無塵室/淨潔室的污染化合物分析:
回應時間快、精度高、監測恆定,使ETG TA 4500 EIMS成為控制淨潔室的理想儀器。這種分析儀可以確保生產僅在可控制的條件下運行,維持生產良率。