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ASD 氣體純化器

ASDpure He、Ar、Ne、Xe、Kr、N2 純化器

。 去除載氣或特殊氣中雜質 H2O、O2、CO、CO2、H2、THC、CH4、N2。

。 雜質去除品質<1PPB。

。 雙段串級純化技術,無H2釋放疑慮。

。 流量: 300MLPS、1LPS、5LPS。

。 在5N條件下連續操作2年。

。 應用於載氣純化、零點校準、實譜儀、半導體製程

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